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振鏡的結(jié)構(gòu)及原理

發(fā)布日期:2024-04-02 15:16:31   瀏覽量 :1172
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什么是光學(xué)掃描振鏡?

激光振鏡、掃描振鏡。這是一種高速掃描的器件,在激光打標(biāo)設(shè)備上早已成熟應(yīng)用。它機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單體積?。o(wú)正弦機(jī)構(gòu)),定位精度高(定位角偏差約2’’),掃描速度極快(毫秒級(jí)),成本低。據(jù)有關(guān)資料介紹,核聚變中高速多波段紫外光譜檢測(cè)已有使用。

光學(xué)振鏡工作原理

振鏡是一種優(yōu)良的矢量掃描器件。它是一種特殊的擺動(dòng)電機(jī),基本原理是通電線圈在磁場(chǎng)中產(chǎn)生力矩,但與旋轉(zhuǎn)電機(jī)不同,其轉(zhuǎn)子上通過(guò)機(jī)械紐簧或電子的方法加有復(fù)位力矩,大小與轉(zhuǎn)子偏離平衡位置的角度成正比,當(dāng)線圈通以一定的電流而轉(zhuǎn)子發(fā)生偏轉(zhuǎn)到一定的角度時(shí),電磁力矩與回復(fù)力矩大小相等,故不能象普通電機(jī)一樣旋轉(zhuǎn),只能偏轉(zhuǎn),偏轉(zhuǎn)角與電流成正比,與電流計(jì)的相似,故振鏡又叫電流計(jì)掃描器(galvanometric scanner)。

圖中, a ,b 是振鏡,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)振鏡a和b可以使入射光束投影到XY平面的指定位置。

具體x,y的坐標(biāo)計(jì)算公式如下:

設(shè) x 軸和y 軸反射鏡之間的距離為e , y 振鏡的軸線到視場(chǎng)平面坐標(biāo)原點(diǎn)的距離為 d ,當(dāng) x , y 軸的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角分別為θx和θy時(shí),視場(chǎng)平面上相應(yīng)光點(diǎn)坐標(biāo)為( x , y) ,且當(dāng) x = y = 0 時(shí),θx=θy=0,則

振鏡a,b的偏轉(zhuǎn)角θx 和θy與振鏡a,b的控制電壓Vx和Vy的關(guān)系為:

θx=kx*Vx

θy=ky*Vy

其中,kx、ky是系數(shù)。

所以通過(guò)控制Vx和Vy就可以控制振鏡a,b的偏轉(zhuǎn)角度。


光學(xué)振鏡系統(tǒng)

激光振鏡、掃描振鏡系統(tǒng)是由驅(qū)動(dòng)控制器與振鏡電機(jī)模組構(gòu)成的一個(gè)高精度、高速度伺服控制系統(tǒng)。

激光振鏡、掃描振鏡系統(tǒng)一般是由處理器、功率放大器、振鏡電機(jī)、光電傳感器、信號(hào)解調(diào)器組成的閉環(huán)控制系統(tǒng)。

如下圖:

振鏡電機(jī)器件圖如下所示:

其中,彈簧負(fù)載為施加復(fù)位力矩的機(jī)械扭簧機(jī)構(gòu)。


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